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本发明涉及一种用于MEMS转换器的至少一个膜单元(1)的制造方法，其中在载体(2)上形成数个各具有至少一个电极层(4、5)和至少一个压电层(6)的压电式转换器单元(3)。根据本发明，从所述转换器单元(3)移除所述载体(2)，并且将所述转换器单元(3)中的至少一者布置在膜(10)上并与所述膜连接，以形成所述至少一个膜单元(1)。此外，本发明还涉及所述膜单元(1)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111163413 A
(43)申请公布日
2020.05.15
(21)申请号 20191
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