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基板处理装置及基板处理方法.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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基板处理装置及基板处理方法.pdf

    基板处理装置包含：旋转单元，使被收容在腔室内的基板保持单元保持的基板绕铅垂的旋转轴线旋转；喷嘴，具有喷出口，用于从所述喷出口朝被所述旋转单元保持的基板的主表面喷出液体；第一药液供给单元，用于对所述喷嘴供给第一药液；处理杯，用于收容所述基板保持单元，并具有多个筒状的防护罩，所述多个筒状的防护罩包含围绕所述基板保持单元的周围的筒状的第一防护罩以及围绕所述第一防护罩的周围的筒状的第二防护罩；升降单元，用于使所述多个防护罩中的至少一个防护罩升降；以及控制装置，控制所述旋转单元、所述第一药液供给单元以及所

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