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本发明公开了一种阵列基板及其制备方法，所述阵列基板包括显示区和邦定区，所述邦定区设于所述显示区的边侧，还包括：基板；若干薄膜晶体管，设于所述基板上，且位于所述显示区，所述薄膜晶体管包括栅极层；第一金属层，设于所述基板上，且位于所述邦定区，第一金属层和所述栅极层同时制备成型，所述第一金属层为叠层结构，所述第一金属层远离所述基板一侧的材料为钼、钛、钼钛合金中的至少一种。本发明的有益效果在于：本发明的阵列基板及其制备方法将邦定区的第一金属层采用三层金属叠层结构，具有耐酸性蚀刻液腐蚀的特性，提升了邦定时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113192979 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110395545.7
(22)申请日 2021.04.13
(71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有
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