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一种多晶硅高沸物除铝用络合剂及其应用方法.pdfVIP

一种多晶硅高沸物除铝用络合剂及其应用方法.pdf

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    本发明涉及一种多晶硅高沸物除铝用络合剂，该络合剂的分子结构如下：其中R1为碳原子含量1‑3的烷基或氢；R2为碳原子数1‑3的烷基；R3为碳原子数0‑3的烷基。n介于1‑10之间，m介于2‑10之间。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113149017 B (45)授权公告日 2022.06.17 (21)申请号 202110405764.9 C01B 33/03 (2006.01) (22)申请日 2021.04

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