偏移检测结构及基板偏移的检测方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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偏移检测结构及基板偏移的检测方法.pdf

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本发明的一种偏移检测结构和基板偏移检测方法，其通过在第一基板上设置包括多个等间距排布的第一标记的第一标记图案，并通过在键合在第一基板上的第二基板上设置包括多个第二标记的第二标记图案。可直接利用等间距排布的多个第一标记，即可便捷的测量出第二标记图案相对第一标记图案的偏移量，而无需辅助其他的读取工具即可获得第一基板和第二基板之间的偏移量，减小基板偏移检测的工艺复杂度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113192930 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110461226.1 (22)申请日 2021.04.27 (71)申请人上海华虹宏力半导体制造有限公司