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本发明公开了一种MEMS质量流量控制器及控制方法，包括壳体以及位于壳体内部的质量流量传感器和微加热器，所述壳体包括下基板及上盖板及由二者围成的气流通道；质量流量传感器固定在下基板上，且位于靠近气流通道的入口一侧；微加热器通过导热介质固定在上盖板上，且位于靠近气流通道的出口一侧。本发明所公开的MEMS质量流量控制器利用质量流量传感器对气体流量进行测量并实时反馈，作为调节微加热器功率的依据，进而利用导热介质热胀冷缩引起的形变实现对微小流量的高精度控制，本发明具有结构简单、体积小、成本低、制备可控性强
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113157008 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202110356195.3 (56)对比文件
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