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本发明提供了一种阀体结构及具有其的晶圆清洗系统。其中，阀体结构包括：阀座，具有进液口、出液口及过液口，过液口与喷液结构的喷液嘴连通；第一阀体组件，包括第一阀针，第一阀针设置在阀座内，以使进液口和过液口连通或断开连通；第二阀体组件，包括第二阀针，第二阀针可活动地设置在阀座内，以使出液口和过液口连通或断开连通；其中，当第一阀针运动至连通进液口与过液口的第一位置时，进入至进液口内的液体从过液口排出；当第二阀针运动至出液口与过液口连通、第一阀针运动至进液口与过液口断开连通时，缓存在喷液嘴内的液体被回吸至
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113217672 B
(45)授权公告日 2022.04.15
(21)申请号 202110490830.7 F16K 1/42 (2006.01)
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