光学显微分析技术.pptVIP

第二章 光学显微分析技术;2.1-1 光学显微镜种类;2.1-2 光学显微镜成像原理;提高分辨率的途径;2 增加数值孔径（N.A.）;薄膜厚度的光学测量法 不透明薄膜的等厚干涉法(FET) 不透明薄膜的等色干涉法(FECO) 透明薄膜的变角度干涉法(VAMFO) 透明薄膜的等角反射干涉法(CARIS) 椭偏光谱法 薄膜厚度的台阶机械测量法 石英晶体震荡器法 称重量法;常用的薄膜厚度测量方法;2.2-1 薄膜厚度的光学测量法;1 不透明薄膜等厚干涉测薄膜厚度;干涉显微术 ——将光波的干涉技术与显微镜结合起来，利用光的干涉研究物相更细微的表面高度差，观察数十纳米的高度差。 ——一束单色光射到空气尖劈上会产生两束存在一定光程差的光，并产生干涉现象，在目镜中可见明暗相间的条纹。 ——不平表面将产生弯曲干涉条纹。根据干涉条纹的形状即可检测样品表面的细微高度差和平整情况。;2 椭圆偏振光测量法;2.2-2 石英振荡器 第二章 光学显微分析技术;2.1-1 光学显微镜种类;2.1-2 光学显微镜成像原理;提高分辨率的途径;2 增加数值孔径（N.A.）;薄膜厚度的光学测量法 不透明薄膜的等厚干涉法(FET) 不透明薄膜的等色干涉法(FECO) 透明薄膜的变角度干涉法(VAMFO) 透明薄膜的等角反射干涉法(CARIS) 椭偏光谱法 薄膜厚度的台阶机械测量法 石英晶体震荡器