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本文公开一种阵列基板，包括：基底和设置在基底上的至少一个第一薄膜晶体管和至少一个第二薄膜晶体管；第一薄膜晶体管包括：依次叠置在基底上的第一有源结构层、第一栅极结构层和第一源漏结构层；第二薄膜晶体管包括：依次叠置在第一栅极结构层上的第二有源结构层、第二栅极结构层和第二源漏结构层；第一栅极结构层包括：第一栅极；第二栅极结构层包括：叠置的第二栅极辅助电极和第二栅极；第二栅极设置在第二栅极辅助电极远离基底的一侧；第二栅极辅助电极是透明电极；第二栅极辅助电极在第一方向上的长度比第二栅极在第一方向的长度长。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113241351 A
(43)申请公布日 2021.08.10
(21)申请号 202110668421.1
(22)申请日 2021.06.16
(71)申请人 京东方科技集团股份有限公司
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