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本发明公开了一种针对深矢高非球面元件自适应柔性低应力装夹装置及装夹方法,所述装夹装置包括真空吸附基体、若干柔性支撑单元、双通道旋转接头、气管、顶圈、密封圈、自定心卡盘和高精度数控回转台;其中真空吸附基体通过自定心卡盘固定于高精度数控回转台上,其外侧壁均匀分布若干柔性支撑单元;真空吸附基体沿轴线方向设有通孔,通孔与柔性支撑单元之间的间隙形成真空吸附通道;通孔一端通过螺纹与双通道旋转接头的通道I连接;通孔的内壁上均匀布设有沿径向且与双通道旋转接头的通道II连接的放射性通孔。本发明通过“吸+撑”方式实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113211351 B
(45)授权公告日 2022.03.08
(21)申请号 202110530025.2 (51)Int.Cl.
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