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本发明公开了一种通过热处理调控大斜切角氮化铝薄膜的缺陷制备方法：(1)对放置有蓝宝石衬底的溅射腔室抽真空；(2)通入气体，升温加热衬底，调整腔室压强设置溅射功率，在蓝宝石衬底上溅射沉积氮化铝薄膜；(3)将氮化铝薄膜以面对面贴合的方式放置，通入保护气，恒温退火；(4)冷却至室温后取出，即得退火后的氮化铝薄膜。本发明制备方法能够获得改善外延膜质量最佳的衬底类型，为薄膜外延生长提供指导意义；本发明具有成本低、操作简单等优点，可以广泛推广使用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113215531 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110535937.9
(22)申请日 2021.05.17
(71)申请人 广西大学
地址 53
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