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移除方法、积层体、形成方法、聚酰亚胺树脂及剥离液.pdfVIP

移除方法、积层体、形成方法、聚酰亚胺树脂及剥离液.pdf

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    本发明提供一种可形成具有良好的剥离性的聚酰亚胺树脂、移除光致抗蚀剂的方法、层合板、形成金属图案的方法及剥离液。移除光致抗蚀剂的方法包括：于基板上形成离型层，离型层具有彼此相对的第一表面与第二表面，其中离型层的第一表面与基板接触；于离型层的第二表面上形成光致抗蚀剂层；以及移除离型层以及光致抗蚀剂层。离型层是由聚酰亚胺树脂所形成。聚酰亚胺树脂是由四羧酸二酐类、二胺类以及苯酚胺类进行聚合反应而获得。二胺类包括羟基氟化二胺类、苯甲酸二胺类以及氨基四甲基二硅氧烷类。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113219796 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 20201

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