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2023-06-16 发布于四川
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一种结构光调制测微小角度的装置.pdf

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本发明提供一种结构光调制测微小角度的装置，包括：激光器、光阑、准直扩束器、分束镜、螺旋相位板、反射镜、电荷耦合器、计算机，其中：激光器出射光经光阑滤去杂光，再经准直扩束器到达分束镜1，并分为两束光，一束经螺旋相位板，到达分束镜2；另一束经两个反射镜(其中一个角度可调)，也到达分束镜2，两束光发生干涉，条纹由电荷耦合器接收并传至计算机解算。两束光分别为涡旋光、平面光，具有较长相干长度，干涉形成叉形条纹，会随经过反射镜的光束到达分束镜2角度变化而改变，由电荷耦合器接收并通过计算机解算，根据全息干涉计

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113218339 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110596773.0 (22)申请日 2021.05.31 (71)申请人中国计量大学地址

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