原创力文档- 1、本文档共23页，其中可免费阅读22页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请公开了一种用于PVT法制备晶体的反应器组件，属于半导体材料制备领域。该反应器组件包括：反应腔，所述反应腔包括原料腔和废料腔，所述废料腔的底端低于所述原料腔的底端；加热机构，所述加热机构套设在所述原料腔外侧，用于加热所述原料腔；长晶腔，所述长晶腔与所述原料腔通过气相传输通道连通，所述原料腔内的原料升华产生的原料气通过气相传输通道传输至所述长晶腔内的籽晶处长晶；平推流机构，所述平推流机构将所述原料腔内长晶过程中产生的废料移动至所述废料腔。本反应器组件能够及时将废料移动至废料腔，提高原料的升华速
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113215654 B
(45)授权公告日 2022.04.12
(21)申请号 202110482795.4 审查员 王红
(22)申请日 2021.04.30
文档评论（0）