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一种高厚度曲面DLC制品及其制备方法和应用.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种高厚度曲面DLC制品及其制备方法和应用.pdf

    本发明公开了一种高厚度曲面DLC制品及其制备方法和应用，所述制备方法包括如下步骤，S1.衬底放置于PVD炉内，开启石墨靶源和离子源电源，施加‑10～‑100V的沉积偏压，所述偏压呈梯度增长；调节电流从10～3A梯度减少；沉积时间为50～90h，得到含有衬底的DLC层；S2.将步骤S1得到的产品进行腐蚀去除衬底，即得所述高厚曲面DLC制品。所述高厚度曲面DLC制品没有发生开裂脱落现象。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113278921 B (45)授权公告日 2022.04.01 (21)申请号 202110482494.1 C23C 14/02 (2006.01)

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