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2023-06-17 发布于四川
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一种便于位置校准的堆叠结构腔体设备.pdf

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本发明提供一种便于位置校准的堆叠结构腔体设备，涉及半导体高端设备制造技术领域。包括上下堆叠结构腔体、隔层台盘、台盘密封块、底层台盘、校准治具块和校准杆销，台盘密封块可拆卸地安装在台盘通孔内，台盘密封块上开设有密封块校准孔，底层台盘上开设有台盘校准孔，校准治具块可替换台盘密封块安装在台盘通孔内，校准治具块上开设有治具块校准孔，校准杆销用于插入第一校准孔和密封块校准孔、以校准第一机械抓手的位置，还用于插入治具块校准孔、第二校准孔和台盘校准孔、以校准第二机械抓手的位置。这样，利用校准杆销贯穿隔层台盘，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113257718 B (45)授权公告日 2021.09.17 (21)申请号 202110634714.8 C23C 16/54 (2006.01) (22)申请日

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