液体供应单元、用于处理基板的装置及处理基板的方法.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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液体供应单元、用于处理基板的装置及处理基板的方法.pdf

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本发明涉及液体供应单元、用于处理基板的装置及处理基板的方法。公开了一种处理基板的方法，该方法包括：在使处理液通过联接到罐的壳体的循环管线而在该壳体中循环的情况下，通过利用安装在该循环管线中的加热器单元加热处理液来调节处理液的温度；在正常模式下通过向基板供应温度受控的处理液来处理该基板；以及在紧急模式下通过连接到该循环管线的排出管线将该循环管线中的处理液排放到该循环管线的外部。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116264176 A (43)申请公布日 2023.06.16 (21)申请号 202211574455.5 (22)申请日 2022.12.08 (30)优先权数据 10-2021-0178482