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本申请提供一种真空蒸镀机的易冷却探头结构，所述易冷却探头结构用于检测被镀膜工件的镀膜膜层的厚度，所述易冷却探头结构包括探头固定件、冷却水管和腔体固定件，所述冷却水管与探头固定件连接，所述腔体固定件用于将所述易冷却探头结构与真空蒸镀机的主腔体板固定，所述探头固定件具有一个或多个凹槽，凹槽的底面具有一个通孔，晶振片设置在凹槽的底面上，探头设置在晶振片的上方并且探头的下端在凹槽的内部，所述探头固定件将晶振片和探头固定在凹槽相对应的位置，所述探头固定件的内部还具有冷却液流道，冷却水管由进水管和出水管组成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113251965 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110738884.0
(22)申请日 2021.06.30
(71)申请人 苏州佑伦真空设备科技有限公司
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