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本发明实施例公开了一种用于LED生长的图形化衬底、外延片和制备方法。该衬底包括图形化蓝宝石衬底，图形化蓝宝石衬底的一侧表面形成有多个蓝宝石图形，异质层，位于图形化蓝宝石形成有蓝宝石图形的一侧表面，蓝宝石图形被包覆于异质层的内部，且蓝宝石图形的上表面与异质层的上表面齐平。本发明通过将蓝宝石c面经过研磨和抛光处理，使得外延层的材料只在蓝宝石c面成核生长，具有良好的平整度和可控的表面粗糙度，有利于获得低缺陷的外延层，进一步降低外延层位错密度，保证外延质量；并且通过外延层、蓝宝石衬底、异质层及空气的梯度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113257970 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110798085.2
(22)申请日 2021.07.15
(71)申请人 广东
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