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- 2023-06-17 发布于四川
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本申请涉及等离子处理技术领域,尤其是涉及一种提升单体等离子设备生产效率的设备及其方法,包括等离子设备本体和台车,台车包括底座和位于底座上的匣式框架,匣式框架具有多个嵌合槽;以及至少一个单层框架,用于放置待处理工件,每一单层框架均嵌合在对应的嵌合槽内。通过改造现有台车的固定框架为匣式框架,使每个单层框架都能够从匣中自由拆卸,便于配套的自动上下板站的自动化作业。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113264094 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110493997.9
(22)申请日 2021.05.07
(71)申请人 扬州国兴技术有限公司
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