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光学元件镀膜工艺.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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光学元件镀膜工艺.pdf

    本发明公开了一种光学元件镀膜工艺，包括以下步骤：S1:将装有光学元件的夹具固定安装至工件盘上；S2:利用工件盘安装组件将工件盘安装至镀膜机的顶部；S3:向镀膜机底部的蒸发组件内添加镀膜液，蒸发组件设置有三个蒸发源，分别为蒸发源A、蒸发源B和蒸发源C；S4:关闭镀膜机，抽真空，然后向镀膜机内注入用于产生离子的气体，并加温加压。本发明的工艺可以提高良品率，提高产品透光率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113265620 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110506998.2 (22)申请日 2021.05.10 (71)申请人 南通瑞景光电科技有限公司

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