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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明公开了一种硒化亚铜薄膜制备方法，包括：获取一衬底，其中，该衬底的至少一面为抛光面；采用物理蒸发淀积方式在该衬底的抛光面上制备硒化亚铜薄膜。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113270533 B
(45)授权公告日 2022.07.19
(21)申请号 202110519862.5 H01L 21/66 (2006.01)
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