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本发明公开了一种用于重频激光打靶的靶片及可装卸靶盘,所述靶片包括两片金属片和夹持于其间的绝缘片,靶片上设定的靶孔依次贯穿金属片、绝缘片和金属片,靶孔在金属片上的部分由圆柱和圆台构成,实现了将激光聚焦打靶后产生的高温物质限制在圆台形孔区域,解决了打靶时因能量传递导致的周围未打靶材被烧毁的难题;靶片与分立靶压板组装成分立靶载体,再将分立靶载体安装于靶盘框体组装成所述靶盘,多个靶片在分立靶压板上之间互不接触,所以激光打靶后热量不会传导到相邻分离的靶片上,进一步避免了热量的聚集,多个分立靶载体独立安装于
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116264753 A
(43)申请公布日 2023.06.16
(21)申请号 202210800654.7
(22)申请日 2022.07.08
(66)本国优先权数据
202111538335.5
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