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在三维存储器件中的阶梯结构及用于形成其的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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在三维存储器件中的阶梯结构及用于形成其的方法.pdf

    公开了具有阶梯结构的3D存储器件以及用于形成其的方法的实施例。在示例中，3D存储器件包括存储阵列结构和阶梯结构，该阶梯结构在存储阵列结构的中间体中并且将存储阵列结构横向地划分为第一存储阵列结构和第二存储阵列结构。阶梯结构包括第一阶梯区域和连接第一存储阵列结构和第二存储阵列结构的桥接结构。第一阶梯区域包括在第一横向方向上并且在不同的深度处彼此面对的第一对阶梯。各阶梯包括多个台阶。第一对阶梯中的至少一个台阶通过桥接结构电连接至第一存储阵列结构和第二存储阵列结构中的至少一者。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113270414 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110538898.8 H01L 27/11582 (2017.01) (22)申请日

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