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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明公开了一种纳米金刚石氟化液流体的制备方法，包括：S1：原料准备；S2：在上述前驱体溶液外布置水流冷凝循环系统，确保一直处于室温状态，并对前驱体溶液进行进行超声震荡；S3：对上述超声震荡后的前驱体溶液用脉冲激光连续辐照，每隔2小时对溶液取样，测试溶液的电阻率，当电阻率大于1×108欧姆·米，停止辐照，得到纳米金刚石氟化液流体浓缩液；S4：将上述制备得到的纳米金刚石氟化液流体浓缩液按体积比为1：100添加到氟化液溶液中，得到纳米金刚石氟化液流体。本发明其原料来源广泛，价格便宜；且生产步骤简单，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113265231 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110252596.4
(22)申请日 2021.03.09
(71)申请人 南京微米电子产业研究院有限公司
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