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一种滤波器的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种滤波器的制造方法.pdf

    本发明实施例公开了一种滤波器的制造方法。该方法包括：形成至少两个谐振器；在至少两个谐振器的第一侧形成第一金属电容极板；在至少两个谐振器的第二侧形成第二金属电容极板；其中，谐振器包括：第一P型半导体层、第一N型半导体层、第二N型半导体层、第二P型半导体层和金属电极层，金属电极层位于第一N型半导体层与第二N型半导体层之间；谐振器的第一侧为第一P型半导体层远离第一N型半导体层的一侧；谐振器的第二侧为第二P型半导体层远离第二N型半导体层的一侧；至少两个谐振器的金属电极层之间具有间隙，且至少两个谐振器的金

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113271078 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110543909.1 (22)申请日 2021.05.19 (71)申请人 上海鸿晔电子科技股份有限公司

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