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用于蒸镀的精密金属遮罩及其多工序蚀刻制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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用于蒸镀的精密金属遮罩及其多工序蚀刻制作方法.pdf

    本发明提供一种用于蒸镀的精密金属遮罩及其多工序蚀刻制作方法，包括金属基材，金属基材的一侧面为第一主表面，另一侧面为第二主表面，金属基材上开通若干暴露孔，暴露孔位于第一主表面上设置第一蚀刻孔，暴露孔位于第二主表面上设置第二蚀刻孔，中心相重合的第一蚀刻孔与第二蚀刻孔呈连通状态，第一蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，第二蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，第一蚀刻孔与第二蚀刻孔的衔接处形成交界夹角，交界夹角大于90°，第一蚀刻孔与第二蚀刻孔的衔接处

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113265617 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110642496.2 (22)申请日 2021.06.09 (71)申请人 浙江众凌科技有限公司

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