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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种设有间隔物的旋转靶材绑定方法、靶材绑定装置以及计算机可读存储介质。该旋转靶材的去氧化物绑定方法自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将金属筛网伸入背管与靶管之间的间隙，利用金属筛网的表面刮擦背管外表面和靶管内表面，除去两者上的氧化铟层(或其他氧化物)，提升铟与靶材/背管的贴合率。其中，注铟完成后还将金属筛网装回间隙内，金属筛网的存在可以增加铟液连接层的导电导热性能，并且所需铟液较少，减少成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113265637 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110605654.7
(22)申请日 2021.05.31
(71)申请人 广州市尤特新材料有限公司
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