改进的自动晶片居中系统及其技术.pdfVIP

改进的自动晶片居中系统及其技术.pdf

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探讨了用于确定与校正由晶片搬运机械手搬运的堆叠的晶片中的晶片间未对准的系统与技术。提供了一种改进的自动晶片居中系统，其可用于确定与该堆叠的晶片相关联的最小圆，其可接着用于确定该堆叠的晶片是否符合各种工艺要求和/或是否可进行居中校正以将这些晶片与接纳站坐标系较好地对准。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113272947 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 201980088012.5 本杰明 ·W ·莫瑞　 (22)申请日 2019

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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