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一种色散检测芯片及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种色散检测芯片及其制作方法.pdf

    本发明公开了一种色散检测芯片及其制作方法，芯片包括基底、设在基底上的阵列波导光栅及PIN光电探测器阵列，该阵列波导光栅的输出波导阵列的每一光信号出口端一一对应地对接至PIN光电探测器阵列的每一PIN光电探测器的I区；待测光信号进入阵列波导光栅后，在阵列波导光栅中按波长色散，特定波长的光信号从与其对应的输出波导中输出，直接进入对应PIN光电探测器的I区，转换为电信号输出。该色散检测芯片具有如下优点：体积小、造价低，光电转换效率、精度高。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113280918 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110468457.5 (22)申请日 2021.04.28 (71)申请人 厦门大学 地址 36

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