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提供了一种图像传感器及其制造方法。图像传感器包括:衬底,其具有第一表面和与第一表面相对的第二表面;以及像素隔离部分,其设置在衬底中,并且被配置为将单位像素彼此隔离。像素隔离部分包括:第一填充绝缘图案,其从第一表面朝着第二表面延伸,并且具有空气间隙区,第一填充绝缘图案包括第一侧壁和与第一侧壁相对的第二侧壁;导电结构,其包括第一侧壁上的第一部分、第二侧壁上的第二部分和将第一部分和第二部分连接的连接部分;以及绝缘衬垫,其设置在第一部分与衬底之间,并且设置在第二部分与衬底之间。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114823756 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210072528.4
(22)申请日 2022.01.21
(30)优先权数据
10-2021-0009640
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