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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明提供陶瓷加热器及其制造方法。陶瓷加热器(10)具备：在表面具有晶片载置面(20a)的陶瓷板(20)；埋设在陶瓷板(20)中的电阻发热体(22、24)；从陶瓷板(20)的背面(20b)支撑陶瓷板(20)的筒状轴(40)；设置于陶瓷板(20)的背面(20b)中被筒状轴(40)包围的轴内区域(20d)、且大小与轴内区域(20d)一致的凹部(21)；从设置于凹部(21)的侧面(21a)的开口部(26a)到达陶瓷板(20)的外周部的末端位置(26e)的长孔(26)；以及设置于陶瓷板(20)背面的轴内
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113286384 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110146170.0
(22)申请日 2021.02.02
(30)优先权数据
2020-0161
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