原创力文档- 5
- 0
- 约8.05千字
- 约 8页
- 2023-06-17 发布于四川
- 举报
本发明涉及半导体生产领域，特别涉及一种光电探测器结构及其制备方法。一种光电探测器结构包括：衬底，第一氧化硅层，第二氧化硅层，第二氧化硅层的厚度为10nm～1μm，氧化铝层，P‑I‑N堆叠层。其制备方法：在衬底上形成锗缓冲层；形成本征半导体层；形成P型半导体层；形成氧化铝层，形成或不形成第二氧化硅层，得到衬底A，并且第二氧化硅层的厚度为10nm～1μm；在另一衬底上形成第一氧化硅层，并且若衬底A不形成第二氧化硅层，则继续形成第二氧化硅层，得到衬底B；将衬底A和衬底B键合；去除A衬底中的衬底和锗缓冲
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113270505 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110396769.X
(22)申请日 2021.04.13
(71)申请人 广东
您可能关注的文档
- 辊涂机.pdf
- 一种基于5G网络的智慧小区门禁管理系统.pdf
- 一种异质金属薄壁管的压-粘复合塑性连接的加工方法.pdf
- 一种基坑排水管道快速插接结构.pdf
- 衣物处理设备以及用于其的盛接组件.pdf
- 衣物处理设备的投放补偿控制方法及装置、介质.pdf
- 一种电缆传输方法、装置及系统.pdf
- 脑图像的处理方法及装置、电子设备和存储介质.pdf
- 基于地基激光雷达技术林木胸径值提取的方法.pdf
- 一种衣物处理装置的控制方法及衣物处理装置.pdf
- 2025年版汽车趋势报告 The 2025 EPA Automotive Trends Report.docx
- 2026年边缘计算开源平台EdgeX Foundry入门与二次开发.docx
- 2026年超声内镜放大内镜早癌诊断AI辅助识别系统临床评价.docx
- 2026年报废汽车回收与再制造逆向物流体系.docx
- 2026年产品碳足迹核算方法学：从摇篮到大门与从摇篮到坟墓.docx
- 2026年城乡要素平等交换双向流动政策创新试点申报材料.docx
- 2026年超导半导体接口电路架构与电平转换驱动器设计.docx
- 2026年财政贴息不再以再贷款支持为前提后的风险防范与合规要点.docx
- 2026年不动产信托登记试点政策对遗嘱信托支持.docx
- 2026年城乡有机废弃物协同处理技术方案.docx
文档评论（0）