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- 2023-06-17 发布于四川
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描述了具有带有液体填充物的致孔剂的抛光垫以及制造具有带有液体填充物的致孔剂的抛光垫的方法。在实例中，用于抛光基板的抛光垫包括抛光体，所述抛光体具有聚合物基质以及分散在整个所述聚合物基质中的多个致孔剂。所述多个致孔剂中的每一个均具有带有液体填充物的壳。该液体填充物具有在1atm压力下的低于100摄氏度的沸点、比水低的密度、或者这两者。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113276016 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110193495.4 B24B 37/26 (2012.01)
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