一种制造互连通孔的方法.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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一种制造互连通孔的方法.pdf

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本发明的方法用于制造互连通孔(16)，其将下导线(6)与横向取向的上导线(21)相连，其中，该方法使得通孔自对准于下导线的宽度以及至少上导线的线端。该构造通过使用不同的层间介电材料(ILD)来产生，其可以相对于彼此选择性蚀刻。沉积第一ILD材料层(1)，之后沉积蚀刻停止层(3)和ILD材料附加层(4)。下导线通过蚀刻沟槽(5)并用导电材料将其填充来产生。之后，用第二ILD材料(7)填充沟槽(下导线的上方)，优选直至蚀刻停止层(3)的平面。之后，在沟槽的至少一部分的一侧除去顶层的ILD材料，而在沟

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114388435 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202111172223.2 (22)申请日 2021.10.08 (30)优先权数据