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2023-06-17 发布于四川
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公开了一种校准设备。设备包括示教挂件的阵列。设备包括被配置成将示教挂件的阵列平移到x位置和y位置的集合的平移致动器，其中x和y位置是在基本上平行于仪器台面的底板的平面中测量的。设备包括被配置成在基本上垂直于平面的方向上移动每个示教挂件的多个高度致动器。一个或更多个示教挂件由于示教挂件的阵列的位置而接触仪器台面上方的示教对象的阵列中的一个或更多个示教对象。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114868021 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202080085125.2 (87)PCT国际申请的公布数据