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一种可控的微LED点阵制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种可控的微LED点阵制作方法.pdf

    本发明公开了一种可控的微LED点阵制作方法，包括以下步骤：一、完成微LED的外延层制作；二、刻蚀所述外延层；三、对所述N型层刻蚀；四、镀上覆盖所述P型层和所述N型层的钝化层，再对所述钝化层进行蚀刻；五、在所述P型层的顶面露出处镀透明导电层，且所述透明导电层凸出所述钝化层；六、沿Y方向镀上数条对应覆盖所述P型层的条形金属层然后在所述条形金属层开设与所述P型层顶面对应的开孔，并在所述N型层于X方向的端部露出上镀上金属电极，形成微LED点阵。本发明的一种可控的微LED点阵制作方法可应用100um以下的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113270439 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110488076.3 (22)申请日 2021.04.30 (71)申请人 广东德力光电有限公司

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