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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明提供了一种二极管芯片及其制造方法，该芯片包括多个相互并联的元胞，元胞包括N+衬底，N+衬底的背面设有背金属层，N+衬底的正面设有N‑外延区，N‑外延区的正面依次设有栅氧层、多晶硅、金属化层；N‑外延区的正面中部嵌入有P型基区，金属化层背面设有凸起部，凸起部嵌入P型基区，凸起部周围设有N+区，凸起部端面与P型基区之间设有P+区，P型基区、N+区的正面均被栅氧层覆盖。采用本发明相比于PN结结构，具备导通电压更低、反向恢复时间更短等优点；相比于肖特基二极管，具有高温特性好、漏电小、正温度系数等优
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113270502 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110491416.8 H01L 23/367 (2006.01)
(22)申请日
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