原创力文档- 10
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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明涉及资源回收利用领域，公开了一种光电行业废蚀刻液资源化回收利用的工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1将废蚀刻液置于反应装置中，使废蚀刻液中磷酸浓度为62‑65wt.％，将金属沉淀物和机械杂质排出，余下的为废蚀刻滤液；S2废蚀刻滤液进入汽提塔，在汽提塔内的底部通入蒸汽，从汽提塔的塔顶采集提取液1，从汽提塔的塔底采集提取液2；S3从提取液1中分离出混酸，提取液1的剩余部分回流至汽提塔；S4从提取液2中分离出磷酸溶液进入刮板式薄膜蒸发器，提取液2的剩余部分回流至汽提塔；S5刮板式薄膜蒸发器顶部的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113264513 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110522886.6
(22)申请日 2021.05.13
(71)申请人 新中天环保股份有限公司
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