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一种声波谐振器件及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种声波谐振器件及其制造方法.pdf

    本发明提供了一种声波谐振器件及其制造方法。该声波谐振器件利用可激光活化物层进行激光活化形成由激光活化金属层构成的高声波阻抗层，其可以精确控制高声波阻抗层的尺寸和位置，无需刻蚀，可以降低寄生电容且高声波阻抗层的粘附性好，不易剥离；进一步的，高声波阻抗层的侧壁通过激光斜向的照射而形成具有一定倾斜角的光滑曲面，以此保证第二低声波阻抗层的沉积质量，且能够降低高声波阻抗层边缘位置的寄生电容。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113271081 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110512179.9 (22)申请日 2021.05.11 (71)申请人 苏州福唐智能科技有限公司

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