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公开了一种用于制造半导体封装件的方法,所述方法包括:在第一载体基底上形成剥离层,其中,剥离层包括第一部分和第二部分,其中,第一部分具有第一厚度,并且第二部分具有比第一厚度厚的第二厚度;在剥离层上形成阻挡层;在阻挡层上形成重新分布层,其中,重新分布层包括布线和绝缘层;将半导体芯片安装在重新分布层上;在重新分布层上形成模制层以至少部分地围绕半导体芯片;将第二载体基底附着到模制层上;去除第一载体基底和剥离层;去除阻挡层;以及将焊球附着到通过去除阻挡层与剥离层的第二部分而暴露的重新分布层上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113270329 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110046610.5
(22)申请日 2021.01.14
(30)优先权数据
10-2020-0
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