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2023-06-17 发布于四川
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基板固定装置.pdf

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本公开提供一种基板固定装置，该基板固定装置包括：静电吸盘，其构造为在静电吸盘上吸附并且保持对象，并且静电吸盘包括基体和静电电极，对象安装在该基体上，并且静电电极设置在基体中；以及底板，静电吸盘安装在底板上，并且底板具有多个通孔，该多个通孔中的每一个使基体的面向底板的第一面露出。从通孔中的每一个朝向基体发射激光。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113284837 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110123746.1 (22)申请日 2021.01.29 (30)优先权数据 2020-0146