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- 2023-06-17 发布于四川
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一种用于检测硫含量的氧化锌‑二氧化钛传感器及其制备方法与应用，属于传感器领域。本发明的目的是为了解决现有柴油硫含量检测方法便携性差、成本高、效率低等问题，所述传感器包括绝缘的氧化铝陶瓷基底，陶瓷基底上覆盖一层叉指电极和采用磁控溅射法沉积在陶瓷基底上的氧化锌‑二氧化钛薄膜，该氧化锌‑二氧化钛薄膜可以在柴油中稳定存在，会随柴油中硫化物含量而改变氧化锌‑二氧化钛薄膜的电导率。本发明采用磁控溅射技术在氧化铝陶瓷上制备的氧化锌‑二氧化钛复合薄膜均匀致密，附着力强，在柴油中长时间浸泡不会出现脱落的问题。制备
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114994140 A
(43)申请公布日 2022.09.02
(21)申请号 202210575319.1
(22)申请日 2022.05.24
(71)申请人 哈尔滨工业大学
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