发光二极管外延片及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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本发明公开了发光二极管外延片及其制备方法,属于发光二极管制作领域。复合电子阻挡层设置为p型掺杂GaN层与n个复合结构,n个复合结构沿p型掺杂GaN层的生长方向依次间隔插设在p型掺杂GaN层内。p型掺杂GaN层本身及p型GaN层内缺陷较少,p型掺杂GaN层本身也可以提供较为充足的空穴,最终进入多量子阱层内的空穴数量可以得到增加,发光二极管的发光效率可以得到提高。每个复合结构均包括沿p型掺杂GaN层的生长方向依次层叠的AlInN子层、InGaN子层与AlGaN子层,复合结构本身可以起到一定的阻挡作用

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113284996 B (45)授权公告日 2022.08.12 (21)申请号 202110348802.1 H01L 33/06 (2010.01)

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