膜层物质的光谱联用分析方法及其应用.pdfVIP

下载本文档

1
0
约2.1万字
约 21页
2023-06-17 发布于四川
举报
版权申诉

膜层物质的光谱联用分析方法及其应用.pdf

1、本文档共21页，其中可免费阅读20页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及多层膜的光谱分析技术领域，公开一种膜层物质的光学常数和介电常数的测量方法及其应用。该测量方法包括：(1)对膜层物质进行深度剖析光谱测试，得到膜层物质沿厚度方向上的元素组成分布光谱数据；(2)对膜层物质进行椭圆偏振测试，得到膜层物质的椭偏参数；(3)根据所述元素组成分布光谱数据，构建所述膜层物质的层结构和确定各层结构的成分组成，建立所述膜层物质的结构模型；(4)根据菲涅尔公式，将所述膜层物质的结构模型和椭偏参数进行迭代拟合，得到光学常数和介电常数。本发明采用将深度剖析后的输出数据作为椭圆

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113281266 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 20201