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转位式多站处理室中的晶片放置修正.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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转位式多站处理室中的晶片放置修正.pdf

    公开了用于确定和使用多种偏差以用于将晶片提供至多站处理室的传送基座的系统和技术。这样的技术可以用于提供基座特异性偏差，该偏差可以基于被分配给特定晶片的多站室的基座进行选择。可使用类似技术基于被分配给特定晶片的转位器的转位器臂，提供晶片支撑件特异性偏差。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113906546 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202080039812.0 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263

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