一种横向激励体声波谐振器.pdfVIP

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2023-06-18 发布于四川
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一种横向激励体声波谐振器.pdf

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本实用新型公开一种横向激励体声波谐振器，涉及谐振器技术领域，包括衬底以及依次层叠设置于衬底上的键合层和压电层，在压电层上设置有叉指电极，叉指电极与压电层在层叠方向上的交叠区域作为谐振区域，在衬底上设置有空腔，空腔依次贯穿衬底和键合层至露出压电层，空腔与谐振区域在层叠方向上正对应，在压电层上还设置有反射栅，反射栅在衬底上的投影位于叉指电极在衬底上的投影的外侧，反射栅的相邻两个栅极之间的间距小于叉指电极的相邻两个电极之间的间距。该横向激励体声波谐振器能够大幅度地减小横向激励体声波谐振器的面积，并显著

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219204472 U (45)授权公告日 2023.06.16 (21)申请号 202223470508.7 (22)申请日 2022.12.21 (73)专利权人武汉敏声新技术