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一种用于半导体检测的晶圆承托装置.pdfVIP

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  • 2023-06-18 发布于四川
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一种用于半导体检测的晶圆承托装置.pdf

    本申请提供了一种用于半导体检测的晶圆承托装置，属于晶圆承托装置技术领域，以解决不便对打磨产生的灰尘杂质进行清理收集的问题，包括防护壳，所述防护壳上固定连接有电机，所述输送管上固定连接有吸气管，所述吸气管固定连接在防护壳上，所述输送管上安装有泵体，所述输送管另一端安装有收集箱。本申请通过设置的输送管，在加工过程中可开启泵体，泵体通过输送管上的多个吸气管对加工过程中产生的灰尘杂质进行吸取收集，然后通过输送管输送到收集箱中进行集中处理，收集的同时可通过拆卸收集箱上的挡板，能够便于对收集箱中收集的灰尘杂

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219203139 U (45)授权公告日 2023.06.16 (21)申请号 202320274768.2 (22)申请日 2023.02.21 (73)专利权人 南通米格半导体

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