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- 2023-06-19 发布于四川
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本发明提供辊部件、笔部件以及基板处理装置。在表面上形成有突块的辊清洗部件中，提高各突块的清洗力。用于擦洗基板S的被清洗面的辊清洗部件(50)在表面具有多个突块(54)。各突块(54)具有与辊清洗部件(50)的旋转方向c不平行地延伸的缝(542)，由于该缝(542)而在辊清洗部件(50)的周向c上具有多个上游边缘(541e1、541e2)，该上游边缘(541e1、541e2)是在因辊清洗部件(50)进行旋转而使突块(54)的清洗面(541)与基板S的被清洗面接触时最先与被清洗面接触的边缘。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113276024 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110546709.1 B24B 37/10 (2012.01)
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