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本发明涉及用于利用耦合到流体射流中的脉冲激光束来切割或烧蚀工件的特定材料的方法(100)和设备(300)。所述方法包括:利用至少一个激光源产生所述脉冲激光束,将加压的流体射流提供到所述工件上,以及将所述脉冲激光束耦合到朝向所述工件的所述流体射流中。所述脉冲激光束包括基于所述工件的特定材料选择的至少两种叠加的脉动。第一脉动具有与第二脉动不同的功率和频率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113329838 A
(43)申请公布日 2021.08.31
(21)申请号 202080010511.5 (74)专利代理机构 北京同达信恒知识产权代理
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